第1474章 加一層水

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於是，林致遠，黃秘書再加上韓所長夫妻，還有司機，五個人就在附近找了家飯店，點了幾個菜。

席間，韓所長繼續講他的光刻機技術，當他講到目前世界上步進掃描光刻機採取的技術路線都是乾式法，透過用更高階的曝光光源，來支撐技術進步到下一代。為了追求更高的解析度，光源波長從最初的365n，到248n，再到193n，但再往下走時，這條技術路徑出現了困難。大部分企業選擇了在原有技術路徑上改進，此時的兩大光刻機巨頭尼康、佳能，都選擇進一步研發157n波長的光源。

韓所長說到這裡裡，林致遠突然深吸了一口氣，做出了一副不解的神態，“韓所長，我是門外漢，但是我有個問題，當然，這個問題可能是非常幼稚的，您可別笑話我。”

韓所長手一擺，“林助理，科學就是要大膽假設，小心求證，沒有想象力，科學就沒辦法前行，你有什麼問題就直說，我怎麼會笑話你呢！”

林致遠小心翼翼的開口了，“韓所長，我們在初中物理課上都學過，水會影響光的折射率，如果在您剛才說的步進掃描光刻機的透鏡和矽片之間加一層水，就會降低光的波長，韓所長，你覺得這個方法可行嗎？”

“加一層水？”韓所長整個人似乎都傻掉了，他不停的重複這四個字。

韓所長已經完全陷入到一種極度亢奮的狀態中，他旁若無人在飯店裡踱起步來，越走越快，嘴裡還在不停的唸叨著，“林助理，你知道摩爾定律嗎？”

不等林致遠回答，他便自已說了下去，“摩爾定律就是積體電路上可容納的元器件的數量每隔18至24個月就會增加一倍（相應的晶片製程也會不斷縮小）。而每一次製程前進，也會帶來一次晶片效能效能的飛躍。”

“可是全世界的半導體研發團隊都在157奈米波長技術前停滯不前，摩爾定律開始被人懷疑，你剛才說的很有可能由此繼續將摩爾定律延續下去。這是一個偉大的猜想，不行，我等不急了，我要馬上回去做實驗。”韓所長轉身就往外走，可是一隻腳已經踏出飯店了，他又回過頭，尷尬的一笑，“一高興把什麼都忘了，咱們沒有實驗室，沒有相應的裝置沒辦法做這個實驗。”

他低下頭繼續自言自語，“一定有辦法的，我必須要把這個天才的猜想變成事實。”

2002年，一位華裔林姓科學家發明了“浸潤式微影技術”，徹底改變了積體電路的生產。這項技術是在透鏡和矽片表面的間隙中，用水代替空氣以提高解析度。當全世界的半導體研發團隊都在專注於157奈米波長技術時，林姓科學家創造性地以193奈米波長的光，透過水作為介質，將其縮短至134奈米，由此繼續將摩爾定律延續下去。

但理論歸理論，能不能從實驗室真正到工廠，還需要經驗豐富的裝置商一起開發。林姓科學家去花旗國、東桑國、德意志、風車國跑了一大圈，向光刻機廠商兜售浸沒式光刻的想法。但是，絕大部分大廠都不買賬。

不買賬的原因除了這項技術走得太“鬼才”，還有不少想法需要驗證之外，另一個原因就是改變的沉沒成本太高。當時主流的研發思路，都是在157n的乾式光刻技術路徑上。諸多公司已經耗費了大量財力、人力、物力，如果用這種“加水”的想法，各個研究團隊就得全部重新開始，推翻原有的大部分設計。

所以巨頭們對林姓科學家的態度，不僅僅是不理睬，而是封殺。尼康甚至向彎積電施壓，要求雪藏林姓科學家。在現實利益面前，這樣的事情還發生過很多，比如柯達其實是最早研發出數碼相機的公司，但缺乏自我顛覆的勇氣，因為恐懼它威脅到自已的膠片業務，反而是雪藏了數碼相機。

終於當林姓科學家跑到了風車國時，阿斯麥願意做第一個吃螃蟹的勇士。雖然阿斯麥也是從乾式光刻機起家，但它想透過賽馬制來賭一把，既然尼康、佳能都在死磕乾式法157n光源，且進展不順利，那這支“奇兵”的意義就是巨大的。

最終浸潤式成功了。2003年，阿斯麥和彎積電合作研發的首臺浸沒式光刻裝置——TWINSXT：1150i出爐，第二年又出了改進版。同年，研發進度拖慢的尼康，終於宣佈了157n的乾式光刻機產品樣機出爐。

但此時勝負已定，一面是用原來193n光源但透過水進化到132n波長的新技術，一面是157n波長的樣機，浸潤式技術的優勢不言而喻，這一技術成為此後65、45和32n製程的主流，推動摩爾定律往前躍進了三代。