第兩百七十六章 發揮空間

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自由討論環節一直持續到了晚上。

大家提出了很多想法，拿出了很多建議，但同時，也暴露了很多問題。

尤其是連線性和完整性的問題。

大家發現何成說的是對的，華夏想搞先進光刻機自研自產，最大的困境就是必須得全面自研，任何一個關鍵技術，關鍵裝置或者關鍵零部件的缺失，都會導致華夏搞不出自己的光刻機。

所以連線性和完整性極其重要，華夏現在搞光刻機自研自產，絕對不能再單純的使用模組化認領的老套路了。

畢竟以前沒有瓦森納協定，但現在有了。

時代完全不一樣了。

所以各機構之間的協調合作，資訊的及時互通，針對空白區域的及時填補等等，都變得極為重要。

好在大家現在已經有了這個意識，有了意識就會重視，有了重視，接下去就是解決問題。

雖然這個問題解決起來不容易。

何成用筆把一些重要的資訊都認真的記錄在了筆記本上，雖然會後微電子研究所這邊就會給每個人發一份會議記錄，但這是何成的習慣，能更好的幫自己標註重點。

臨近午夜，只吃了一頓午飯的眾人依舊精神飽滿的繼續著討論。

而話題再一次回到了光源方案上。

大家現在主要傾向的依舊是尼康方案，從時代背景來說，這確實是很難改變的事情。

不過對於何成提出的浸入式光刻機方案，大家都表示會積極參與，這對何成來說這就夠了。

反正從長遠發展來說，尼康方案所涉及的技術以後都是用得上的。

只要後續華夏光刻機能起來，這就不是無用功。

無非現階段的投入會更大，但何成有錢。

而在光源方案討論的差不多快結束時，長光機所的代表湯建華突然走到何成身邊問道，“何總怎麼看euv這個方向，怎麼看euv

llc聯盟這個組織？”

何成發現一件事情，自從大家從內心接受了何成入局這件事情後，大家對於何成的態度就變得積極了起來。

很願意跟何成交流，也很願意傾聽何成的意見。

而何成看著湯建華，眼神中不自覺的流露出了一些敬意。

是對湯建華的敬意，更是對長光機所的敬意。

在光學技術領域，華夏有很長一段空窗期，是王大恆創辦的長光機所改變了這一情況。

1958年，長光機所自主研發了1秒精度大地測量經緯儀、1微米精度萬能工具顯微鏡、大型石英攝譜儀、中型電子顯微鏡、中子晶體譜儀、地形測量用多倍航攝投影儀、光電測距儀、高溫金相顯微鏡以及融化態光學玻璃。

可謂一舉成名。

1961年，長光機所又研發生產了華夏第一臺鐳射器。

華夏未來在鐳射領域的種種成就，從此生根發芽。

80年代，長光機所更是在軍事領域解決了多項關鍵的光學技術瓶頸。

所以針對光刻機的自研，大家都預設長光機所將會擔任極其重要的角色。

“我還是從未來倒退的邏輯，duv的理論極限有人說是10nm，也有人說是7nm，但不管是10nm還是7nm，20年後基本上就到極限了。”

“所以光刻機的基礎設計邏輯沒有巨大變化的話，euv確實大機率會成為未來的光源方案。”

湯建華微微皺眉，“如果要考慮euv的未來發展需求，我們現在需要做的準備可能還得再全面一些。”

“弗勞恩霍夫光機所去年就開始搭建euv鍍膜機了，就在最近，弗勞恩霍夫光機所的euv反射膜完成了反射率測試，獲得56%的反射率。”

“等於我們現在的競爭物件，可能就已經不是1999年的尼康，而是尼康＋整個euv

llc聯盟了。”

感受到湯建華的擔憂，何成故意展現出了淡定的狀態，“凡事都有利弊，euv

llc聯盟確實整合了各個領域的頂尖水平，但聯盟這種東西往往最容易出岔子。”

“縱觀歷史，那些以少勝多，以弱勝強的經典戰役中，強者一方往往都是聯盟。”

“更何況，湯院士別忽略了一點，尼康可沒加入euv

llc聯盟。”

“說起來，尼康為什麼沒有加入euv

llc聯盟？”湯建華好奇的問道，雖然他並不確