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臺積電研發浸潤式光刻機成功了。

這就是dUV光刻機。

經過了多年的發展,目前,dUV光刻機已經可以滿足絕大多數需求,可以覆蓋7nm及以上製程需求。

到了這時候,學者們的普遍觀點是,EUV將是下一代光刻技術。

EUV光刻機採用波長為10-14奈米的極紫外光作為光源,可使曝光波長一下子降到13.5nm,能滿足10nm以下的晶圓製造,並且還可以向5nm、3nm繼續延伸。

另外值得一提,早在20世紀80年代,大約是1985年,就有學者開始研究EUV光刻技術。

只可惜技術一直達不到要求,而且要消耗大量的資金,因此這一技術發展緩慢。

直到2015年,EUV光刻機才進入可量產階段。

“我記得之前看過資料,一臺EUV光刻機的造價高達6500萬美元,如果初期研究,投入的花銷還會更多,所以目前,我應該推進浸潤式光刻機的發展,這是符合時代潮流的,等透過浸潤式光刻機將星火電子廠做大做強後,再來推進EUV光刻機的研究。”

“雖然我可以從萬界商城中購買到全套技術,但以目前的環境、人才、社會形勢,還不到拿出完整浸潤式光刻機的時候,還需要等待啊。”

這個世界是複雜的,聯動的。

並不是有技術就可以為所欲為。

君不見腳盆雞在半導體如日中天,卻被美爹以非常非常血腥的方式瓜分肢解。

君不見華為前腳遙遙領先,後腳就被美帝無恥打壓。

曹衛東對此很警惕。

很快,他就在心裡制定了一套方案。

一方面,聯合神州科學院,悄然進行浸潤式光刻機的研究。

另一方面,提醒國家,以應對西方世界發動的輿論戰,防止出現自廢武功的事情。

“咦,這樣的話,我似乎可以成立一個戰忽局了,晶片戰忽局?”

“什麼浸潤式光刻機,那只是乾式光刻機改而已.......”

“什麼10nm,就是比常規晶片小一點而已.......”

“什麼浸潤式技術,什麼EUV光刻技術,乾式光刻技術才是未來的王道!”

“美帝,你看我們旁邊的腳盆雞、韓棒子、阿三哥,他們都有狼子野心啊.......”

想到這裡,曹衛東表情瞬間變得古怪起來。

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