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雖然晶片工廠問題不大,有帝都提供,王逸可以省下幾十億。

但裡面的生產線,光刻機等裝置,都要王逸自己解決。

這些才是最貴的,保守估計後續投入也得一百五十億起步。

像是光刻機,2010年阿斯麥就推出了euv光刻機scan nxe:3100。

前世,2013年阿斯麥又推出euv光刻機 nxe:3300。

不過這些先進的euv光刻機,王逸就不考慮了,不現實,不可能對內地企業出售的。

前世中芯國際訂購了一臺euv光刻機,花了12億美金,錢都付了,最後因為帝國阻撓,阿斯麥也遲遲沒有發貨。

相反,內地企業能買到的,也就是落後很多代的duv光刻機。

比如2016年出的nxt 1980di,是前世內地企業買到的最先進光刻機之一,也是中芯國際主力機型。

更先進的duv光刻機nxt:2000i,都買不到,更別說nxt:2050i。

nxt 1980di原本用於製造300n-38n製程,二重曝光後可以達到19n製程。

中芯國際,華力等企業,都是用nxt 1980di二重曝光,量產28-19n的晶片。

同樣,要用 nxt:1980di來製造14n、7n的晶片,那就得靠多重曝光技術,對廠家的技術要求非常高,量產晶片的成本也很高。

最初,臺積電用nxt:1980di來製造7n晶片,效果很不理想,良品率低,成本高,最後還是換上euv光刻機,才實現了完美的7n。

但中芯國際買不到euv光刻機,只能硬著頭皮用nxt 1980di進行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。

幸好梁老能力突出,在多重曝光領域造詣頗深,硬是推出n+1、n+2工藝,用nxt 1980di這種落後的光刻機,實現了14n、10n,甚至7n。

梁老的兩重曝光技術,不但把中芯國際的28n良品率從50提到了90以上,成本也不會增加太多。

使得中芯國際的28n工藝大規模量產,能滿足大多數晶片需求。

14n需要三重曝光,憑藉梁老的技術,良品率和成本也能保證。

可7n製程,就要用nxt 1980di四重曝光,技術方面梁老都能解決,但良品率和成本就不好說了。

巧婦難為無米之炊。

拿著nxt 1980di當euv3300用,真是太強人所難。

不過,在國產光刻機突破之前,這也是迫不得已的辦法。

當然,2011年nxt 1980di還沒有釋出。

王逸當下能買到的光刻機型號,是2009年推出的nxt:1950i,和今年剛推出的nxt:1960bi。

其實1950i/1960bi/1970ci/1980di,這四款光刻機都是同樣的光源系統,單次曝光都在38n以上,多重曝光都能生產28n、16n、14n、12n,甚至7n。

後續的nxt:1960bi、1970ci、1980di,不過是在nxt:1950i進行了部分升級,提高了良品率和精度,本質上相差不大。

像是三星臺積電的未來幾年的28n、22n、20n、16n、14n、10n,很多都是用的nxt:1950i!

畢竟三星、臺積電2016年量產10n晶片的時候,nxt:1980di光刻機才開始量產!

7n之前的製程,三星臺積電用的都是1950i、1960bi、1970ci等老型號。

只要不量產7n,都沒壓力。

同樣,王逸的12英寸晶圓廠,若是買到nxt:1950i和1960bi,也能從明年的28n,一直用到22n、20n、16n、14n、10n,甚至7n。

但今年剛出的1960bi不太現實,估計阿斯麥不賣。

不過老款的1950i運作一下,還是有希望的。

當下歐美對國內的封鎖限制,還不是那麼嚴密。

若是趁機出手,多訂一批,那後續就高枕無憂了。

哪怕溢價買,都不成問題!

王逸記得,前世euv光刻機要12億美金,1980di要7200萬美金。

而當下的19

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